wafer quản lý giải pháp có độ chính xác cao

Fillet (tuân thủ SECS/GEM)

・ Lớp phủ tốc độ cao với hoạt động liên tục, không ngừng

・ Căn chỉnh tốc độ cao cho hoạt động liên tục, không ngừng:

　Chức năng Mu SKY Capture

・ Kiểm tra tự động ứng dụng âm lượng: Chức năng DVM

・ Tạo thành lớp phủ mẫu "đường lá lý tưởng" để tránh hiện tượng trống: Hàm MCD [PAT.P]

・ Kẻo tàn tật hàng loạt trước khi chúng xảy ra: Chức năng AFC

・trang wafer thiết lập bản đồ có chức năng

・Có thể sản

・Tương tự với wafer và FOUP

・Chức năng ánh xạ wafer

・Kết quả xạ trị (tương thích SECSGEM) ※lựa chọn

EFEM (Mô-đun thiết bị đầu cuối) là gì?

EFEM là một mô-đun thiết bị dùng để tải và wafer. FOUP (Front Open Unified Pods) hoặc khay wafer, nơi lưu trữ wafer và vận hành chúng đến thiết bị xử lý trong khi vẫn duy trì tiến trình làm sạch phòng tiêu chuẩn.

THÔNG SỐ KỸ THUẬT ( Musashi Dispenser Máy phân phối wafer hoàn toàn tự động tương thích EFEM FAD5100S-WH )